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FCP質量流量控制器
產品詳情
質量流量控制器是半導體制造設備的關鍵。它利用溫度變化對應于質量流量的原理，可以測量和控制不同氣體的流量。
質量流量控制器的應用范圍很廣，可以滿足從毫升到數百升的氣體流量控制范圍的工作條件，不受環境溫度和壓力變化的影響。
| 型號 | FCP質量流量控制器/ FMM質量流量計 | ||
| 量程 | 10SCCM | 1SLM | 30SLM |
| 50SCCM | 5SLM | 50SLM | |
| 100SCCM | 10SLM | 75SLM | |
| 500SCCM | 20SLM | 100SLM | |
| 準確度 | ±1%S.P.(> 25%F.S.) ±0.25%S.P.(≤25%F.S.) | ||
| 關閉時的流量 | ≤2% | ||
| 流量控制范圍 | 2~100% | ||
| 流量測量范圍 | 0~100% | ||
| 線性 | ≤ 0.5%F.S . | ||
| 重復精度 | ≤ 0.2% F.S . | ||
| 響應時間 | ≤1s | ||
| 工作壓差范圍 | 50-300Kpa | ||
| 溫度系數 | 零點:≤0.05% f . s ./℃；調整:≤ 0.1% F.S. / ℃ | ||
| 最大工作壓差 | 450千帕 | ||
| 耐壓 | 1MPa | ||
| 漏率 | ≤5×10-12Pa·m3/秒(He) | ||
| 密封材料 | 氟橡膠；氯丁橡膠；金屬密封圈 | ||
| 工作環境溫度 | 5~50℃ | ||
| 輸入信號 | 數字:RS485或DeviceNET 模擬:0至5伏DC | ||
| 輸出信號 | 數字:RS485或DeviceNET:0至5伏DC | ||
| 零點漂移 | 無零點修正時<0.5%F.S./年， | ||
| 電源 | +DC 24V | ||
| 標準接頭形式 |
VCR:1/4''、3/8''、1/2'' IGS: 1.125英寸、1.5英寸 |
||
| 電源接頭形式 | d型9針公頭、5針M12接頭 | ||
| 安裝方向 | 任意 | ||
